微電子加速邁向后摩爾時代！復(fù)旦大學(xué)梅永豐課題組集成 DNN 與納米薄膜技術(shù)，精準分析入射光角度

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原標題：微電子加速邁向后摩爾時代！復(fù)旦大學(xué)梅永豐課題組集成 DNN 與納米薄膜技術(shù)，精準分析入射光角度
關(guān)鍵字：納米,探測器,光電,應(yīng)變,有限元
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作者：哇塞
編輯：李寶珠，三羊
復(fù)旦大學(xué)材料科學(xué)系梅永豐教授課題組，提出了一種多級準靜態(tài)有限元分析法，并基于此設(shè)計構(gòu)筑了六類硅/鉻納米薄膜組裝三維微結(jié)構(gòu)及相應(yīng)的三維光探測器，充分驗證了該技術(shù)的良好通用性和工業(yè)實踐性。「二維納米膜自組裝成三維微結(jié)構(gòu)」被認為是制造下一代微電子器件的重要途徑，對于即將到來的先進電子和光電子應(yīng)用至關(guān)重要。然而，二維納米膜最終幾何形狀的形成受到蝕刻軌跡、化學(xué)反應(yīng)、高寬比以及其他復(fù)雜因素影響，導(dǎo)致自組裝器件在制造過程中難以提高產(chǎn)品良率和成品率，嚴重阻礙了其從實驗室真正走向工業(yè)應(yīng)用。
為了對預(yù)應(yīng)變的納米膜結(jié)構(gòu)進行準確的形態(tài)預(yù)測和設(shè)計指導(dǎo)，科學(xué)家們在長達百年的時間里設(shè)計開發(fā)了許多分析和數(shù)值方法。其中，有限元建模 (finite element modeling, FEM) 可以直觀地模擬和預(yù)測納米膜釋放后的行為，并在近年被研究人員用于研究和模擬納米膜的自滾過程。不過從結(jié)果來看，多數(shù)實驗只滿足于特定構(gòu)造形成或局部分析，仍缺乏廣泛的適用性和準確的邊界條件模型。
針對于此，復(fù)旦大學(xué)材料科學(xué)系梅永豐教授課題組，近日在「Nature Communications」上發(fā)表了題為「

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作者簡介：解構(gòu)技術(shù)先進性與普適性，解讀更前沿的 AIForScience 案例